采用特殊涂布结构，满足10μm-60μm厚度涂布范围
环境控制系统；降低车间环境控制成本
高精度面密度及膜厚闭环控制系统；成膜质量更高
高精密快速开关阀及涂布稳压技术，满足间隙涂布需求，提高涂布厚度均匀性
设备参数
涂布速度
0.1~50m/min
涂布宽度
max500
宽度精度
±0.3mm
膜厚范围
10µm~60µm
正反面错位公差
±0.4mm
收卷对齐度
±0.5mm
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